Rasterelektronenmikroskop

Description

Ein Rasterelektronenmikroskop nutzt einen Elektronenstrahl, der ein vergrößert abzubildendes Objekt abrastert und Wechselwirkungen der Elektronen zur Bilderzeugung nutzt. Die Auflösung übersteigt die eines Mikroskops um mehrere Größenordnungen, im vorliegenden Fall ist sie bis 5 nm möglich. Benchtop-Geräte sind erheblich kleinere und billigere Geräte im Vergleich zu ?klassischen? REMs, die auch im Funktionsumfang reduziert sind. Jedoch auch in der Handhabung einfacher zu bedienen sind. In Kombination mit einem EDX ist mit einem REM auch eine lokal aufgelöste Elementanalyse möglich. Die Detektion erfolgt entweder über Sekundärelektronen (SE), was eine sehr hohe Auflösung ermöglicht, oder über Rückstreuelektronen (BE), was Rückschlüsse auf die Dichte zulässt. Der Betrieb im Vakuum ist notwendig, um Wechselwirkungen der Elektronen mit der Luft auszuschließen. Damit sich die Oberfläche wieder entladen kann, wird entweder der Versuch lediglich im Niedervakuum durchgeführt, oder aber nicht leitende Proben werden mit Gold oder Platin beschichtet, wofür ein Sputter notwendig ist. Beide Varianten haben Vorteile und werden in unterschiedlichen Zusammenhängen eingesetzt.