Rasterelektronenmikroskop IZHH

Description

Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops (SEM/FIB-Zweistrahlanlage) zur Ausstattung des Innovationszentrums Hamburg des DLR im Rahmen der Quantencomputing-Initiative einschließlich Lieferung, Einbringung in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung sowie anschließendem Service/Wartung. Lot 1: Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Gegenstand dieser Ausschreibung ist insofern eine Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Zur Kontrolle und Bewertung der Prozessergebnisse auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop vorgesehen. Hier wird eine Zweistrahlanlage benötigt, die die Möglichkeiten der Rasterelektronenmikroskopie (scanning electron microscopy SEM) mit denen einer Ionenfeinstrahlanlage (focused ion beam FIB) kombiniert. Neben der hochauflösenden mikroskopischen Abbildung von Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser soll so die gezielte Präparation von Querschnitten ermöglicht werden. Weiterführende Analyseverfahren umfassen die energiedispersive Röntgenspektroskopie (energy dispersive X-ray spectroscopy EDS) sowie die Rastertransmissionselektronenmikroskopie (scanning transmission electron microscopy STEM). Die Anlage soll von einer wechselnden Nutzergruppe mit unterschiedlichen Erfahrungsleveln genutzt werden. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und eine Schulung. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.