Fourniture d’un microscope FIB/SEM petits échantillons pour la préparation de lames TEM

Description

L'équipement choisi sera dédié à la préparation d'échantillons, principalement des lamelles TEM provenant d'échantillons de semi-conducteurs. Ce microscope sera principalement utilisé pour : - La préparation d'échantillons o pour la microscopie électronique à transmission (TEM) sous forme de fines lamelles o pour la tomographie par sonde atomique (APT) et la tomographie électronique sous forme de fines sondes en forme d'aiguille - L'observation de sections transversales - L'observation et le contrôle de fines lamelles Lot 1: L'équipement choisi sera dédié à la préparation d'échantillons, principalement des lamelles TEM provenant d'échantillons de semi-conducteurs. D'autres types de préparations telles que les sondes APT ou les observations de coupes transversales sont également attendus. Le microscope doit offrir pour ces échantillons un débit élevé pour la préparation et l'observation des échantillons. Pour ce faire, le chargement des échantillons doit être effectué à l'aide d'un sas de chargement et des outils intégrés pour la préparation des échantillons doivent être fournis avec l'équipement, y compris des outils visant à une semi-automatisation de la préparation. Dans la mesure du possible, les échantillons doivent être préparés sans aucune manipulation manuelle, en particulier en dehors de la chambre d'analyse. L'équipement choisi doit pouvoir répondre à ces besoins en un minimum de temps, de manière fiable et reproductible, ce qui signifie que les résolutions d'imagerie SEM et FIB seront un paramètre important pour la détection de la région d'intérêt et le contrôle de la préparation, ainsi que la précision du fraisage FIB et la génération d'artefacts. Le microscope sera installé sur le campus de Minatec et sera utilisé 7 jours sur 7. Pour cela, l'équipement doit être sécurisé, stable, fiable et convivial (logiciel et matériel). Il doit être doté de procédures d'alignement automatisées. Le temps de fonctionnement doit être supérieur ou égal à 90%. La qualité, le coût et la réactivité de la maintenance de ce microscope par une équipe dédiée auront un impact important. Les options avec chiffrage facultatif n°1, 4 et 5 ont été levées lors de la notification.