Fourniture d'un équipement de nettoyages et amincissement du silicium par voies chimiques pour le compte du CEA Grenoble

Description

La procédure avec négociation a pour objet la fourniture d'un équipement de nettoyages et amincissement du silicium par voies chimiques pour le compte du CEA Grenoble. Lot 1: Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de nettoyages et amincissement du silicium par voies chimiques pour le développement des technologies de packaging 3D. Cet équipement devra assurer le traitement mono-face de plaques silicium 300mm en assurant une protection intégrale de la face non-traitée à l'aide d'un vecteur neutre. Il devra être capable de nettoyer aussi bien les faces avant que les faces arrières et la tranche des plaques. Cet équipement devra également permettre de réaliser des étapes d’amincissement de silicium de plaques reportées par gravure chimique par voie humide de façon sélective. Cet équipement devra offrir une grande flexibilité pour répondre aux besoins très larges qui doivent être couverts. • Options obligatoires : - Métrologie intégrée (page 13 du Cahier des charges) - Foup sous purge N2 (pages 13 et 19 du Cahier des charges) • Options facultatives : - Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 15 du Cahier des charges) - Transformateur électrique (page 25 du Cahier des charges) - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)