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Location et maintenance d’une piste lithographie de 200 mm

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Buyer

CEA/Grenoble

Value

1 EUR

Current supplier

Screen Semiconductor Solutions Co., Ltd.

Description

La présente consultation porte sur la location et la maintenance d'un équipement de lithographie 200mm au CEA Grenoble Lot 1: Le contractant fournira la piste lithographie 200mm, le louera et l'entretiendra pendant une période de 36 mois. L'équipement doit appliquer, développer et cuire des résines photosensibles à 248 nm (DUV), des résines e-beam et les sous-couches correspondantes. Il doit également traiter les résines de polyimide (photosensibles ou non) et d'autres matériaux de passivation permanente similaires, tels que les résines de polyéthylène.

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