„Dostawa układu pomp do wytworzenia ultra wysokiej próżni na potrzeby Laboratorium Epitaksji Cienkich Warstw dla INTiBS PAN we Wrocławiu”

Description

Przedmiotem zamówienia jest: 1.1. Dostawa zestawu pomp do wytworzenia ultra wysokiej próżni, tj. pompy próżniowej bezolejowej suchej – spiralnej typu scroll, oraz dwóch pomp turbomolekularnych (TMP). Wskazane pompy powinny zapewnić uzyskanie próżni rzędu 10-8 mbar pozwalającej na wytwarzanie cienkich o wysokiej czystości warstw epitaksjalnych. 1.2. Wskazane pompy muszą być kompatybilne z komorą epitaksjalną EPI 930, będącą w posiadaniu Zamawiającego, w celu utworzenia jednego stanowiska procesowego. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia oraz sposób realizacji zawiera projekt umowy wraz z załącznikami (Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia – Załącznik nr 9), stanowiący Załącznik nr 1 do SWZ. Lot 1: Przedmiotem zamówienia jest: 1.1. Dostawa zestawu pomp do wytworzenia ultra wysokiej próżni, tj. pompy próżniowej bezolejowej suchej – spiralnej typu scroll, oraz dwóch pomp turbomolekularnych (TMP). Wskazane pompy powinny zapewnić uzyskanie próżni rzędu 10-8 mbar pozwalającej na wytwarzanie cienkich o wysokiej czystości warstw epitaksjalnych. 1.2. Wskazane pompy muszą być kompatybilne z komorą epitaksjalną EPI 930, będącą w posiadaniu Zamawiającego, w celu utworzenia jednego stanowiska procesowego. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia oraz sposób realizacji zawiera projekt umowy wraz z załącznikami (Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia – Załącznik nr 9), stanowiący Załącznik nr 1 do SWZ.