Acquisition, installation et mise en service de trois machines neuves de lithographie par faisceau d'électrons et leurs accessoires

Description

Acquisition, installation et mise en service de trois machines neuves de lithographie par faisceau d'électrons ainsi que leurs accessoires pour le compte de trois laboratoires du CNRS.Le présent marché est passé par la Délégation Paris-Normandie du CNRS à la demande de l’Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes (l’INSIS) du CNRS. Lot 1: Acquisition, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie par faisceau d'électrons et ses accessoires pour le compte du Laboratoire d’Analyse et d’Architecture des Systèmes (LAAS) Prix forfaitaire : Crédits allouées 2 300 000 euro HT Prix unitaires : Montant maximum 1 000 000 euro HT Lot 2: Acquisition, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie par faisceau d’électrons et ses accessoires pour le compte du Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) Prix forfaitaire :crédits alloués 2 000 000 euro HTPrix unitaires : Sans montant minimum et avec un montant maximum : 100 000 euro HT Lot 3: Acquisition, installation et mise en service d’une machine neuve de lithographie par faisceau d'électrons et ses accessoires pour le compte de l’Institut d'Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie Prix forfaitaire : crédits alloués 2 150 000 euro HTPrix unitaires : Sans montant minimum et avec un montant maximum : 1 000 000 euro HT